Den första är enligt strukturen kan delas upp i mekanisk vakuumpump och jet vakuumpump. Alla mekaniska rörelser (roterande eller glidande) som används i olika vakuumutrustningar för att ändra pumpens sugbehållarvolym och vakuumpump benämns vanligtvis mekaniska vakuumpumpar. Den mekaniska volymvakuumpumpen ändrar pumpvolymens arbetsvolym genom mekanisk rörelse för att uppnå effekten av den mekaniska volymvakuumpumpen. Dessa pumpar inkluderar fram- och återgående vakuumpumpar, roterande mekaniska pumpar (inklusive roterande pumpar, skruvpumpar, Roots pumpar, vätskeringspumpar etc.). Denna typ av pump används utöver den mekaniska pumpen.
För det andra kan den enligt arbetsprincipen delas upp i en vakuumpump för gasleverans och en vakuumpump för gasfångare. En gasleveranspump är ett mål som gör att gas kontinuerligt kan dras in och ut för att nå sugvakuumpumpen. Det finns två typer av vakuumpumpar: vakuumpumpar med variabel volym och momentumöverföringspumpar. Gasfångstpumpen är en vakuumpump som adsorberar eller agglomererar gasmolekyler på pumpens inre yta och därigenom minskar mängden gasmolekyler i behållaren och uppnår syftet med sug. Kolvvakuumpumpar, vakuumpumpar med roterande vingar, vakuumpumpar, vakuumpumpar med skruvar, vakuumpumpar, injektionspumpar för diffusionspumpar och flera andra typiska typer.
